●大型液晶基板カセットのクリーン(クラス100)搬送に適応します。
●ESDコンダクティブ搬送システムです。
●500キログラムの搬送物重量にも対応する搬送システムです。
●振動が少ないコンベヤー構造です。
●ロボットアーム・AGVフォークとのアクセス容易な構造です。
●薄型構造のため、天井搬送にも対応します。
●シンプル構造のため、安全でメンテナンス作業も容易です。
●Excel 3C-HDの標準仕様
名 称
仕 様
 搬送物重量
 Max.500kg
 搬送速度
 Max.25m/min
 清浄度
 クラス100以下対応可能
 静電気
 150V 以下 (5V以下対応可)
 振動 (G)
 0.5G 以下 (搬送速度による)
 騒音値
 65dB 以下
 ローラーピッチ
 100mm
 ローラー径  φ70mm
 駆動モーター  40W (2台)、φ3、200VAC (他) 仕様も対応可
 フリーフロー  標準仕様は不可 (搬送物によっては対応可能)