●大型液晶基板カセットのクリーン（クラス１００）搬送に適応します。
●ＥＳＤコンダクティブ搬送システムです。
●５００キログラムの搬送物重量にも対応する搬送システムです。
●振動が少ないコンベヤー構造です。
●ロボットアーム・ＡＧＶフォークとのアクセス容易な構造です。
●薄型構造のため、天井搬送にも対応します。
●シンプル構造のため、安全でメンテナンス作業も容易です。
●Excel 3C-HDの標準仕様
名 称
仕 様
搬送物重量
Max.500kg
搬送速度
Max.25m/min
清浄度
クラス100以下対応可能
静電気
150V 以下 (5V以下対応可)
振動 (G)
0.5G 以下 (搬送速度による)
騒音値
65dB 以下
ローラーピッチ
100mm
ローラー径
φ70mm
駆動モーター
40W (2台)、φ3、200VAC (他) 仕様も対応可
フリーフロー
標準仕様は不可 (搬送物によっては対応可能)
