●クリーン対応が取れた搬送システムです。
●耐環境性に優れています（耐熱）。
●ＥＳＤ対策により静電気の発生を抑えられます。
●クリーンルーム内での重量物搬送を可能にしました。
●ギアコンベヤーの標準仕様
名 称
仕 様
特長
ESD対策搬送コンベヤー
駆動方法
スパイラルギア駆動
ローラー材質
用途により受注生産
ローラーピッチ
100mm 以上
対象搬送物
ガラス基板、カセット 等
搬送速度
Max.30m/min
静浄度
クラス10 (0.1μ基準) 対応可能
