限界清浄度に近いＨＤカセットや液晶ＦＰカセットの搬送システム。
ＥＳＤ（静電除去）性能の高度化を強く求められるＨＤＤの生産システム。
その他、あらゆる産業の多様化著しい消費者ニーズに３Ｃで対応。
●Clean
　クラス１０（＠0.1μ）クリーンルームに適合、
　先進の清浄搬送システムです。
●Conductive
　ＥＳＤ（静電除去仕様）に合致、静電圧5ボルト以下を実現。
　導電構造体です。
●Covenient
　抜群の機能性、経済性。

金属部品を噛み合わせない設計思想から、 安全で静かなクリーンコンベヤーが
実現しました。（平均騒音値６０ｄｂ）
需要の変動や工程の変更に際しては「柔軟･迅速･低コスト」でお応えします。
●EX3C-ST (シャフト通し) ／ EX3C-CO (中抜き搬送) の標準仕様
名　称
仕　様
　特長
　EX3C-ST (シャフト通し)／ EX3C-CO (中抜き搬送)
　駆動方法
　タイミングベルトとタイミングプーリーによる駆動
　ローラー材質
　導電性ポリアセタール樹脂
　ローラー形状
　ツバ付ローラー 他
　ローラーピッチ
　50mm 以上 (選択可能)
　対象搬送物
　カセット、パレット　等
　静電気
　5V 以下
　コンベヤー電源
　200V・3相・90W 以下
　搬送速度 　Max.24m/min
　清浄度 　クラス10 対応可能
●EX3C-LCD (幅広搬送) の標準仕様
名　称
仕　様
　特長
　幅広搬送
　駆動方法
　タイミングベルトとタイミングプーリーによる駆動
　ローラー材質
　UPE、PEEK 他　選択可能
　ローラー形状
　ツバ付ローラー 他
　ローラーピッチ
　50mm 以上 (選択可能)
　対象搬送物
　FPDガラス基板 等
　ガラス基板最大形状 (W)
　第八世代用大型基板対応可能
　コンベヤー電源
　200V・3相・90W 以下
　搬送速度 　Max.24m/min
　清浄度 　クラス10 対応可能